Nói đến ngôi chùa cổ nhất Việt Nam, cái tên phải nói đến chính là chùa Dâu. Ngôi chùa này còn có nhiều tên gọi khác như chùa Cả, chùa Diên Ứng, chùa Pháp Vân, chùa Cổ Châu… Chùa nằm ở phường Thanh Khương, thị xã Thuận Thành, tỉnh Bắc Ninh. Dù không còn dấu tích vật chất để lại nhưng chùa Dâu vẫn được coi là ngôi chùa có lịch sử hình thành sớm nhất Việt Nam.
Năm xưa vùng Dâu có 5 ngôi chùa cổ là: chùa Dâu (thờ thần mây), chùa Đậu (thờ thần mưa), chùa Tướng (thờ thần sấm), chùa Dàn (thờ thần chớp) và chùa Tổ (thờ mẹ của Tứ pháp). 5 ngôi chùa này ngoài thờ Phật còn thờ cả Tứ pháp.
Trong chiến tranh, chùa Đậu bị phá huy nên tượng bà Đậu được đưa đến thờ trong chùa Dâu. Vì chùa Dâu thờ thần mây (người đứng đầu trong Tứ pháp) nên nơi đây cũng trở thành trung tâm của tín ngưỡng này cả vùng Dâu lẫn cả Việt Nam.
Tương truyền chùa Dâu được xây từ buổi đầu Công Nguyên, cụ thể khởi công xây dựng vào năm 187 và hoàn thành vào năm 226. Như vậy tính theo mốc thời gian này, chùa Dâu hiện đã gần 1800 năm tuổi. Đến năm 1313 ngôi chùa được xây lại và trùng tu nhiều lần trong những thế kỷ sau.
Vào thời vua Trần Anh Tông, người đã sai trạng nguyên Mạc Đĩnh Chi kiến thiết lại chùa Dâu thành ngôi chùa trăm gian, tháp chín tầng, cầu chín nhịp. Hiện tại trong tòa thượng điện của chùa Dâu còn sót lại những mảng chạm khắc từ thời Trần và thời Lê. Năm 2013, chùa được công nhận là Di tích lịch sử quốc gia.
Các nhà sư Ấn Độ đầu tiên đã từng đến chùa Dâu. Nhiều đại danh sư cũng đến đây tu hành, làm trụ trì, có thể kể đến như: Mâu Bác ở thế kỷ II, Khương Tăng Hội, Chi Cương Lương ở thế kỷ III và Thiển sư Tỳ Ni Đa Lưu Chi ở thế kỷ VI. Trong đó, sư Tỳ Ni Đa Lưu Chi lập ra một phái Thiền ở nước ta.